Metoda LEED jest metodą pomocniczą/laboratoryjną. Jest oparta o elastyczne rozpraszanie wiązki niskoenergetycznych elektronów przez materiały krystaliczne. Umożliwia badanie symetrii i określenie struktury powierzchni, w tym analizę wielkości domen krystalicznych, czy strukturę adsorbatów.

Technika charakteryzuje się czułością powierzchniową, a sygnał zbierany jest z kilku warstw atomowych najbliżej powierzchni próbki. Jest metodą pomocniczą dla metod spektroskopowych: PS, XAS i umożliwia identyfikację faz powierzchniowych materiałów krystalicznych.

Metoda LEED jest wykorzystywana m. in. w następujących obszarach:

• elektronika (struktura powierzchni półprzewodników, struktura atomów zaadsorbowanych na powierzchni, pasywacja półprzewodników)
• inżynieria powierzchni (wzrost cienkich warstw krystalicznych, zmiany strukturalne powierzchni pod wpływem temperatury lub obecności obcych atomów).

Metoda LEED dostępna jest na następujących liniach badawczych:

• URANOS
  PHELIX
  PIRX
  DEMETER.