Metoda AES jest metodą pomocniczą/laboratoryjną. Jest oparta o analizę energii elektronów emitowanych przez próbkę w procesie Augera (proces bezpromienistego przejścia atomu ze stanu wzbudzonego do podstawowego). Metoda umożliwia badanie składu próbek oraz określenie otoczenia chemicznego atomów i może służyć do potwierdzenia ich czystości. Możliwe jest również obrazowanie powierzchni z czułością chemiczną, z rozdzielczością przestrzenną rzędu kilkudziesięciu nanometrów.

Technika charakteryzuje się czułością powierzchniową, a sygnał zbierany jest z kilku warstw atomowych najbliżej powierzchni próbki. Jest metodą pomocniczą dla metod spektroskopowych: PS, XAS, PEEM.

Metoda AES jest wykorzystywana m. in. w następujących obszarach:

• elektronika (potwierdzenie czystości powierzchni materiałów)
• inżynieria powierzchni (wzrost cienkich warstw, zmiany składu powierzchni pod wpływem temperatury lub obecności obcych atomów)
• metalurgia (skład powierzchni metalicznych, procesy korozyjne).

Metoda AES dostępna jest na stanowiskach badawczych:

• URANOS
• PHELIX
• PIRX
• DEMETER

Na wszystkich stanowiskach możliwe jest badanie jedynie ciał stałych, kompatybilnych z warunkami ultrawysokiej próżni.